微纳计量 MicroNano Metrology微纳计量 MicroNano Metrology
Repair Service

仪器维修

提供台阶仪、轮廓仪等精密测量仪器的故障诊断、安装调试与检修服务,帮助设备恢复可靠运行

Alpha-Step® D-600 Stylus Profiler
KLA

Alpha-Step® D-600 Stylus Profiler

带电动 X-Y stage 的 Alpha-Step 轮廓仪,支持 2D / 3D 台阶高度、表面粗糙度、bow 与 stress 相关测量。

Tencor® P-7 Stylus Profiler
KLA

Tencor® P-7 Stylus Profiler

台式探针式轮廓仪,适合实验室与生产环境中的台阶高度、表面形貌和粗糙度测量维护咨询。

Tencor® P-17 & P-17 OF Stylus Profilers
KLA

Tencor® P-17 & P-17 OF Stylus Profilers

高性能台式轮廓仪平台,用于 2D / 3D 台阶高度、表面粗糙度及研发或生产测量场景。

Alpha-Step® D-500 Stylus Profiler
KLA

Alpha-Step® D-500 Stylus Profiler

带手动 X-Y stage 的台式 Alpha-Step 轮廓仪,适合常规 2D 台阶高度和表面粗糙度测量维护。

故障初判

根据设备型号、故障现象、报错信息和使用场景,先进行远程初步判断。

维护与校准咨询

可沟通轮廓仪维护、校准、备件、软件异常和测量结果异常等问题。

老设备支持

针对老型号设备,可先确认问题范围,再评估维修、替代方案或后续服务可能性。