VLSI Standards
Step Height Standards (Quartz)
石英台阶高度标准样片 (Quartz SHS)
校准标准NIST台阶高度轮廓仪
石英台阶高度标准样片用于机械式或光学表面轮廓仪的 Z 向台阶高度校准。
可选规格
28 个可询型号 · 台阶高度 / 镀层
Standards
标准样片
用于半导体量测设备校准与性能验证的精密参考样品，帮助确保尺寸、膜厚、形貌和颗粒检测结果的准确性
VLSI Standards
Ultra Thick Step Height Standards
超厚台阶高度标准样片 (UTSHS)
校准标准PTB台阶高度轮廓仪
超厚台阶高度标准样片用于 100 µm 以上大台阶的机械式或光学轮廓仪校准。
可选规格
3 个可询型号 · 台阶高度
VLSI Standards
AutoLoad Step Height Standards
自动装载台阶高度标准样片 (ALSHS)
校准标准NISTNVLAP台阶高度轮廓仪AFM
AutoLoad 台阶高度标准样片用于带自动晶圆搬运/识别流程的轮廓仪与 AFM 台阶高度校准。
可选规格
30 个可询型号 · 台阶高度 / 晶圆尺寸
VLSI Standards
Surface Topography Standards
表面形貌标准样片 (STS)
校准标准NIST表面形貌AFM光学干涉仪
表面形貌标准样片结合 pitch 与 step height，用于 AFM 与光学干涉显微镜的三维形貌校准。
可选规格
8 个可询型号 · X/Y 方向周期间距 / Z 向高度
VLSI Standards
Surface Topography References
表面形貌参考样片 (STR)
参考样片表面形貌AFM
表面形貌参考样片用于 AFM 等表面形貌工具的日常性能检查、线性度和长期稳定性监控。
可选规格
8 个可询型号 · X 方向周期间距 / Z 向高度
VLSI Standards
NanoLattice Pitch Standard
NanoLattice 间距标准样片 (NLSM)
校准标准NISTCD-SEMAFM
NanoLattice 间距标准样片用于 CD-SEM 与 AFM 的 pitch、倍率和扫描线性度校准。
可选规格
6 个可询型号 · 晶圆尺寸 / 校准方向
VLSI Standards
NanoLattice Pitch Standard for Analytical Instruments
NanoLattice 分析仪器用间距标准样片 (NLSM)
校准标准NISTCD-SEMAFM
NanoLattice 分析仪器用间距标准样片装配于 universal mount adaptor，用于电子显微镜与 AFM 的 pitch、倍率和扫描线性度校准。
可选规格
4 个可询型号 · 安装厚度 / 校准方向
VLSI Standards
NanoLattice Pitch Standard for Mask Handling Tools
NanoLattice 光罩搬运工具用间距标准样片 (NLSM)
校准标准NISTCD-SEM特殊载体
NanoLattice 光罩搬运工具用间距标准样片安装在 6 英寸铝载体上，用于 mask-based CD-SEM 的 pitch 与倍率校准。
可选规格
2 个可询型号 · 载体尺寸 / 校准方向
VLSI Standards
NanoCD Standards
NanoCD 线宽标准样片 (NCD)
校准标准CD-AFMCD-SEM
NanoCD 线宽标准样片用于 CD-AFM 与 CD-SEM 的 CD 线宽准确性校准、设备匹配和诊断。
可选规格
8 个可询型号 · 线宽 CD / 晶圆尺寸 / 校准方向
VLSI Standards
NanoCD Standards for Mask Handling Tools
Mask NanoCD 光罩搬运工具用线宽标准样片 (NCD)
校准标准CD-AFMCD-SEM特殊载体
Mask NanoCD 线宽标准样片安装在 6 英寸铝载体上，用于 mask-based CD-AFM 与 CD-SEM 的线宽校准。
可选规格
13 个可询型号 · 线宽 CD / 布局 / 载体尺寸
VLSI Standards
Silicon Dioxide Film Thickness Standards
二氧化硅薄膜厚度标准样片 (FTS)
校准标准NIST膜厚椭偏仪反射仪
二氧化硅薄膜厚度标准样片用于椭偏仪与反射仪的 SiO₂ 薄膜厚度校准与稳定性验证。
可选规格
52 个可询型号 · 薄膜厚度 / 晶圆尺寸
VLSI Standards
Silicon Nitride Film Thickness Standards
氮化硅薄膜厚度标准样片 (NFTS)
校准标准NIST膜厚椭偏仪反射仪
氮化硅薄膜厚度标准样片用于椭偏仪与反射仪的 Si₃N₄ 薄膜厚度校准。
可选规格
20 个可询型号 · 薄膜厚度 / 晶圆尺寸
VLSI Standards
Silica Contamination Standards
二氧化硅污染颗粒标准样片 (SCS)
校准标准NIST颗粒检测系统
二氧化硅污染颗粒标准样片用于 UV/DUV 颗粒检测工具的二氧化硅粒径校准与监控。
可选规格
6 个可询型号 · 颗粒尺寸 / 颗粒数量 / 晶圆尺寸
VLSI Standards
Absolute Contamination Standards
绝对污染颗粒标准样片 (ACS)
校准标准NIST颗粒检测系统
绝对污染颗粒标准样片用于裸硅晶圆表面颗粒检测设备的 PSL 粒径校准。
可选规格
49 个可询型号 · 颗粒直径 / 晶圆尺寸 / 颗粒数量
VLSI Standards
Silica Leopard Contamination Standards
Silica Leopard 二氧化硅污染颗粒标准样片 (SLCS)
校准标准颗粒检测系统
Silica Leopard 多 spot 二氧化硅污染颗粒标准样片用于覆盖多个 silica 粒径范围的检测校准。
可选规格
2 个可询型号 · Silica 球径组合 / Spots 数量 / 晶圆尺寸
VLSI Standards
Leopard Contamination Standard Particle Size Analysis
Leopard 污染颗粒标准样片
校准标准NIST颗粒检测系统
Leopard 多 spot 污染颗粒标准样片用于在同一晶圆上覆盖多个 PSL 粒径范围的检测校准。
可选规格
11 个可询型号 · Spots 数量 / 晶圆尺寸 / 粒径范围